我院季涛助理教授最新的研究结果“A simple method for preparing a TiO2-based back-gate controlled N-channel MSM-IGFET UV photodetector”在英国皇家化学学会(Royal Society of Chemistry, 简称RSC)《Journal of Materials Chemistry C》（JCR一区，IF=7.059）杂志上在线发表。深圳技术大学PP电子学院为本文的第一及唯一通讯单元，季涛助理教授为第一作者及通讯作者，我院胡俊青教授为配合通讯作者。相关技术在近期也获得了国家发现专利授权（专利号：ZL201910611294.4），专利权人是深圳技术大学。

在現代光電探測技術中，光電探測器可以在许多領域可以找到相關應用。氧化钛(TiO2)由于其高折射率，優異的電性能和良好的化學穩定性，在太陽能電池、光催化反應、LED、光電探測器等領域引起了廣泛關注。同時也是光電檢測中紫外檢測理想的半導體。該團隊利用在含氧環境下煅燒ALD（原子層逐層沈積的要领）制得的TiO2薄膜，使得TiO2薄膜由非晶向局部單晶轉變，形成魚鱗狀的外貌，並減少了质料中的氧缺陷。然後基于絕緣柵型金屬-半導體-金屬（MSM）結構，利用簡單的掩模版方式開發了薄膜型絕緣柵場效應（MOSFET）光電晶體管。通過柵極電壓可調控TiO2的溝道載流子漫衍以及耗盡層特性，提升器件對紫外光探測能力。由此制得的光電探測器件在提升了光電探測的性能的同時，又讓器件具備了柵極電壓調控光譜響應的能力。這種設備的開發將有助于降低光電設備制造成本，優化光電檢測設備的性能並促進光電檢測應用。

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https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2020/TC/C9TC05424C#!divAbstract